レイリー波を用いた弾性表面波モーターの研究は，動作の実証から始めて，長年取り組んできた研究課題でした。たわみ波を用いた進行波型リニアモーターは，最初に取り組んだ超音波モータの研究課題です。
弾性表面波モーター
駆動周波数9.6MHzの弾性表面波モーター。弾性表面波基板の両脇にリニアガイドを設置し，板ばねを介してスライダーに予圧を加えています。
スライダーの移動速度は無負荷時で50cm/s程度が可能。静止時の最大推力としては20N程度を取り出すことができます。予圧などの設定によりますが。
スライダーの摩擦駆動表面は，微細な多数の突起を形成した構造とすることで，安定した摩擦駆動を行えるようにしています。予圧印加機構の安定化も重要。
弾性表面波基板の左端には駆動用のすだれ状電極（IDT)とその後方に反射器を設置。右端には受波用のIDTと反射器を設置しています。
駆動用IDTから励振されたレイリー波は基板表面を伝搬し，スライダーを駆動します。スライダー下を伝わった波は受波用のIDTで電力に変換され整合負荷抵抗で吸収。
弾性表面波基板はニオブ酸リチウム（128°回転Y-X伝搬）を使用しています。電極はアルミニウムの蒸着とエッチングにより形成されています。
本来無色透明な材料ですが，温度変化などによる自発分極で割れることを防ぐ為に，一部の酸素を抜いて絶縁性を少し低下させた基板を使っています。
たわみ波モーター
駆動周波数約27kHzの細棒に伝搬するたわみ波の進行波を用いたモーター。導波路となる細棒を，横方向から励振することでたわみ波を励振しています。
両端端部に取り付けられた超音波振動子の一方は，強力な縦振動（振動子の軸方向伸縮振動）を励振。他方はその振動を受けて整合負荷として電力に変換します。
細棒を伝搬するたわみは波は，終端が整合負荷状態なので，完全な進行波が励振されます。この進行波により細棒を挟んでいるスライダーは摩擦駆動されます。
ランジュバン型振動子（BLT)は，最大2kWの高周波電力を超音波振動に変換します。エクスポネンシャルホーンにより，振動は5倍に変成され，細棒を駆動します。
2つのホーンで細棒を挟み込む構造とすることで，強力な超音波振動を伝えています。
細棒の機械インピーダンスと，受波側のホーン先端から見た機械インピーダンスが一致するように抵抗Rを調整しています。